等離子體測量光譜儀的參數(shù)及應(yīng)用

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AvaSpec PlasLine系列等離子體測量光譜儀基于Avantes公司的Avabench-75光學(xué)平臺，采用模塊化設(shè)計，可以配置成單通道、雙通道、四通道或多通道（多10通道）。每個通道可以設(shè)置不同的積分時間或信號平均次數(shù)，且各通道同步采集。

AvaSpec PlasLine系列光譜儀有兩種規(guī)格型號，AvaSpec-2048-x-USB2和AvaSpec-3648-x-USB2 (x代表通道數(shù))。可以實現(xiàn)波長范圍200-1100nm、高分辨率0.1nm的等離子體光譜診斷。

AvaSpec-2048光譜儀可在接受外觸發(fā)信號僅延遲1.3 µs后開始采樣（時間抖動± 21 ns），也可發(fā)出TTL信號來觸發(fā)脈沖激光器或高壓脈沖電源，并可設(shè)置開始采樣的時間延遲（-20 ns至89 sec，步長21 ns），適用于需要快速響應(yīng)或時序控制的應(yīng)用。

AvaSpec-3648光譜儀的像素數(shù)多，光譜分辨率相對AvaSpec-2048光譜儀提高了約30%，但靈敏度降低了50%。

的AvaSpec-USB2.0平臺為多通道的應(yīng)用提供了大可能的模塊化。可以通過*的Stroe to RAM功能實現(xiàn)多通道高速同步測量，大采樣頻率可達900幅光譜/秒（僅AvaSpec-2048光譜儀）。

AvaSpec PlasLine系列等離子體測量光譜儀的應(yīng)用非常廣泛：

受控?zé)岷司圩儯ㄍ锌R克）；

空間科學(xué)（等離子體推進技術(shù)）；

生化處理（等離子體滅菌）；

微電子與信息產(chǎn)業(yè)（芯片的蝕刻）；

材料合成與處理（等離子體沉積和刻蝕）；

國防（等離子體隱身技術(shù)）；

應(yīng)用（LIBS技術(shù)）；

工業(yè)（焊接工藝）

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